双轴立式减薄机

双轴减薄机

产品特点:

  • 人机界面程控系统,自动对刀、自动补偿砂轮磨损厚度尺寸、自动调节工件磨削速度,检测磨削扭力、从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损。
  • 配备在线厚度测量装置。
  • 双轴减薄,兼容粗磨&精磨工序。

KJ300L2

金刚石磨轮尺寸(mm)

ø312

工件最大加工尺寸(mm)

8寸晶圆

砂轮电机功率/转速

1.35kw/0-300rpm

磨轮电机功率/转速

11kw/0-2000rpm

气压(MPa)

0.8

总功率(KW/380V)

27

进给率

0.1um-1000um/sec

行程(mm)

45

毛重(kg)

4500

外形尺寸(L*W*H)(mm)

2000*1600*2250