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技术与服务
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硅片抛光机湿度传感器加湿效果

硅片抛光机湿度传感器加湿效果


为保证硅片抛光机加湿的效果，变原来的注水式加湿为雾化式加湿。现有国产中小型抛光机的加湿方式采用的是注水式，由于抛光机的加湿量不大，此方式很容易造成加湿的不均匀性，进而影响抛光的质量。采用雾化的方式注水基本上消除加湿的不均匀性，可以大大改善抛光的效果。水的雾化采用高频振动的方式实现，此种雾化装置可以很容易在市场上购买到。

开启硅片抛光机后，将工件由少倒多放入抛光桶，工件的多少和重量和工件的体型有及到的关系，所以工件慢慢放入到增加，倒工件旋转减慢，但是不可以工件不动，当工件不动旋转时，抛光出来的产品液将不均匀，抛光时间也会随之不必要的加长。

我们选用硅片抛光机的湿度传感器，此传感器集传感与变送于一体，体积和重量都很小，价格适中，而且比较容易安装。传感器输出的标准电压信号的另一通道，单片机采样后转换为数字信号，通过与设定的湿度值比较，进而控制加湿电磁阀的开合。控制加湿量的电磁阀有大、中、小3个，此方法的应用避免了系统的复杂性，又保证了系统的可靠性和控制的精度。